美国omega FMA3105流量计
流量控制器 美国omega流量传感器
经济型气体质量流量控制器和流量计适用于洁净气体， FMA3100系列
经济型气体质量流量控制器和流量计适用于洁净气体， FMA3100系列:经济型气体质量流量控制器和流量计适用于洁净气体
可测量*大流速为10 SLM
0 ~ 5 Vdc线性输出
具成本效益
FMA3100系列质量流量传感器代表着质量流量传感器技术领域的突破。
先进的电子器件、紧凑的机械设计以及批量生产加工理念在这一高性能、低成本的产品中集中体现。
气体流量传感器适合多种OEM应用。0 ~ 5 Vdc线性输出作为标准输出信号。
FMA3200质量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100热式质量流量传感器提供**、稳定的气体流量控制。
在断电模式下，流量控制阀关闭，同时泄漏率*低。
种具成本效益的控制器是众多OEM应用的理想之选，它提供0 ~ 5 Vdc线性输出并接收0 ~ 5 Vdc的控制输入。
FMA3300在FMA3100流量计功能的基础上增加了一个可调节3位半数字LCD数字显示仪表，用于查看以工程单位（即mL/min或L/min）显示的流量。
已经证实，这些紧凑型流量计在很多实验室应用中效果显著。
规格:
输出： 0 ~ 5 Vdc（*小值2500 ?）
输入设定电压
（仅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc
精度： 满量程的±1.5%*
重复性： 满量程的±0.5%
响应时间： 在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒（常规）达到设定流速的±2%内
工作环境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，无冷凝空气
工作压力范围： 25°C (77°F)时达到*大值150 psi
温度系数： 每°C为±0.2%
压力系数： 每psi为±0.02%
泄漏完整性： 对于外界环境，*大值为1x10-4SCCS氦气
输入电源：
FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)
FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)
连接口： 流速达到1 L/min时，采用?"压合接头；流速达到5 L/min时，采用?" 压合接头；流速达到10 L/min时，采用?"压合接头
接液材质： 阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头（标配）
量程比： 10:1
气体： 大部分洁净、干燥气体（例如，空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、氧气）
过滤：如果气体中含有任何颗粒物质，需要使用20微米过滤器
规格（FMA3200流量控制器）
压差： 15 ~ 40 psi
阀门工作寿命： >1百万次循环；阀门处于常闭状态
阀门处的泄漏率： 0.2 SCCM或低于满量程的2%，以较大值为准
控制量程： 50:1
远程设定电压： 0 ~ 5 Vdc
重量：
FMA3100： 199 g (0.44 lb)
FMA3300： 249 g (0.55 lb)
FMA3200： 386 g (0.85 lb)
不带接头的尺寸（近似值）：
FMA3100： 47（长）x 26（宽）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300： 47（长）x 26（宽）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200： 81（长）x 26（宽）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")
产品型号/产品描述
不带显示屏的型号
FMA3101 0至20 SCCM
FMA3102 0至50 SCCM
FMA3103 0至100 SCCM
FMA3104 0至200 SCCM
FMA3105 0至500 SCCM
FMA3106 0至1000 SCCM
FMA3107 0至2000 SCCM
FMA3108 0至5000 SCCM
FMA3109 0至SCCM
带显示屏的型号
FMA3301 0至20 SCCM
FMA3302 0至50 SCCM
FMA3303 0至100 SCCM
FMA3304 0至200 SCCM
FMA3305 0至500 SCCM
FMA3306 0至1000 SCCM
FMA3307 0至2000 SCCM
FMA3308 0至5000 SCCM
FMA3309 0至10000SCCM
控制器
FMA3202-(*) 0至50 SCCM
FMA3203-(*) 0至100 SCCM
FMA3204-(*) 0至500 SCCM
FMA3205-(*) 0至5000 SCCM
FMA3206-(*) 0至10000SCCM
推荐配件
FMA3115PW 电源／输出信号电缆(0 ~ 5 Vdc)，115 Vac
FMA3230PW 电源／输出信号电缆(0 ~ 5 Vdc)，230 Vac
FMA3215PW 电源／输入信号／输出信号电缆(0 ~ 5 Vdc)，115 Vac
FMA3223PW 电源／输入信号／输出信号电缆(0 ~ 5 Vdc)，230 Vac
FMA3000C 带插接式接头和祼露端头的1 m (3')电缆，与具有端子连接口的电源配合使用
注释: * 指定气体、入口／出口压力和温度。
** 流量范围以干燥空气或氮气为基准；还提供 其它气体（二氧化碳、氦气、氩气、氢气、甲烷、氧气）的范围（需付额外费用）。
? 如需可选4测量点NIST校准证书，请将后缀"-NISTAIR"添加到型号中（需付额外费用）。
美国omega FMA3105流量计
